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高效电池智造装备

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ALD上下料机

产品特点

最高产能可抵达16000pcs/h

可凭证客户需求举行设置

特制细密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿，陶瓷侧齿，镌汰硅片划伤，包管装备的稳固性

ALD上下料机手艺参数
手艺参数	相关参数
产能	8000/11000/16000 pcs/h
金属舟规格	200槽，节距2.38mm
硅片尺寸	166mm-210mm
适用花篮	100 casstte
碎片率	≤0.03%
开机率	≥98%
耗宇量	1000L/min
详细参数若有变换，本公司不另行通知！

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